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高纯氮气
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纯度大于99.999%。无色无臭无味无毒的惰性气体相对密度ds(21.1,空气=1)0.967。气体密度1.153kg/m3(21.1101.3kPa);液体密度808.5kg/m3(-195.8,101.3kPa)沸点-195.8熔点-209.9。氮气纯化方法主要有吸附法、变压吸附法膜分离法等。在集成电路半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延光刻清洗蒸发工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体

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